场发射扫描电子显微镜

日期： 2019-01-09 15:27:00
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仪器名称	场发射扫描电子显微镜（scanning electron microscopy）
型号	S-4800
生产厂家	日立
主要性能	该电镜的电子发射源为冷场，物镜为半浸没式。
	1.在高加速电压（15kV）下，S-4800的二次电子图像分辨率为1 nm，这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压（1kV）下的二次电子图像分辨率为2nm，这有利于观察绝缘或导电性差的样品。
	2.S-4800的主要附件为X射线能谱仪。利用S-4800和X射线能谱仪可以在观察样品表面微观形貌的同时进行微区成分定性和定量以及元素分布分析。X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92，从而可以分析轻元素。
	3.由于S-4800不能在低真空条件下工作，因此不适合直接观察含水和含油样品。
主要指标	分辨率：1nm AV:15KV WD:4mm
	分辨率：2nm AV:1KV WD:1.5mm
	分辨率：1.4nm AV:1KV WD:2mm
主要附件	EDAX、溅射仪、循环水泵、空气压缩机
可测定样品	扫描电镜已广泛应用于材料科学、冶金、地质勘探，机械制造、生产工艺控制、产品质量控制、灾害分析鉴定、宝石鉴定等科研和工程领域，具体情况如下：
	1.金属、非金属及复合材料的观察分析；
	2.纳米粉及纳米粉体的形貌观察和粒度测量统计；
	3.微区成分的定性、定量计算，并对重点区域做元素分布图；
	4.可对固体材料的表面涂层、镀层进行结合情况观察和厚度测量；
	5.机械设备、压力容器、管道及汽车零件的失效分析。
使用注意事项	1.测量前要按照先开硬件再开软件的原则开机，以免造成开机后的软件报错；
	2.仪器使用完成后，退出软件，关闭电脑及显示器；
	3.测量过程中，务必将样品粘牢，以免掉入样品仓污染镜头；
	4.扫描电镜需要高度无尘的环境，请大家不要在仪器间饮食等，确保仪器间的干净。
存放地点	第二化学楼209
负责人	胡国文
负责人联系电话	13893308223
负责人Email	hugw@lzu.edu.cn